电子特气行业研究：电子特气迎风起，国产替代正当时

2023 年 5 月 21 日

（报告出品方/作者：开源证券，金益腾、蒋跨跃、徐正凤）

1、电子特气：气体领域的璀璨明珠

1.1、工业气体应用领域广泛，可分为大宗气体与特种气体

工业气体应用领域广泛，被喻为「工业的血液」。工业中，把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。作为现代工业的基础原材料，工业气体应用领域十分广泛，既包含战略新兴和国计民生行业，如集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造、食品等领域，也涉及如冶金、化工、机械制造等传统行业。从产业链来看，工业气体分为产业链分为上、中、下游三个环节。其中，上游环节主要为原材料（空气、工业废气、基础化学原料）与设备（气体分离及纯化设备、压力容器设备等）、中游环节为工业气体的制备（包括大宗气体与特种气体）、下游环节为众多终端应用领域。

根据应用领域的不同，工业气体可以被分为大宗气体与特种气体。其中，大宗气体又可以分为电子大宗气体（用於环境气、保护气与载体）与非电子大宗气体（用於冶金、化工、机械加工等），而特种气体则主要包括电子特种气体以及医疗气体、激光气体、食品气体等非电子特种气体。

根据供应模式的不同，工业气体经营模式可以分为零售供气和现场供气。零售供气模式下，供应商通过采购、提纯、分装等工艺加工後向客户配送销售瓶装供气和储槽气；现场供应模式下，气体供应商一般在客户生产工厂附近修建气体工厂，通过管道供气，供应商拥有并为客户运营该工厂。

1.2、电子特气产品高端，被称为半导体材料的「粮食」与「源」

电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用於刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等半导体材料的「粮食」和「源」。相较於一般的工业气体，电子特气对气体的纯度、质量稳定性与一致性、包装容器等要求更高。例如在纯度方面，普通工业气体要求在 99.99%左右，但是在先进位程的集成电路制造过程中，气体纯度要求通常在 5N（99.999%）以上。

2、供给：国内电子特气受制於人，国产替代亟待加速

2.1、电子特气生产工艺复杂、客户认证壁垒深厚

2.1.1、电子特气工艺复杂，气体纯化与混配为核心工艺

电子特气生产工艺复杂、种类繁多，对生产企业技术实力要求较高。从生产工艺看，电子特气的生产涉及合成、纯化、分离、混配、充装、分析检测、气瓶处理等多项技术，生产流程较长、工艺难度较大。同时，电子特气种类繁多，根据全球半导体协会统计，目前常用的电子气体纯气有 60 多种、混合气体有 80 多种。而不同气体产品的合成、纯化等工艺方面也可能存在较大差异，这进一步提高了对於生产企业的技术实力要求。

气体纯化与气体混配为电子特气生产的主要核心工艺：（1）气体纯化：纯度是电子特气产品的核心指标之一，直接影响下游产品的良品率和可靠性。通常情况下，气体纯度用百分数表示。气体纯化是通过多重高效吸附、精馏等方式，对气体原料中的水分、空气、金属离子、颗粒物等杂质进行去除，将气体纯度提至 5N（99.999%）、6N（99.9999%）乃至 7N（99.99999%）。现阶段，伴随集成电路制造工艺的快速升级，对电子特气的纯度等性能要求也在持续提高。

（2）气体混配：气体混配是指根据不同需求，运用重量法、分压法、动态体积法等方法，将两种或两种以上组分的气体按照特定比例混合，对配制过程的累计误差控制、配制精度、配制过程的杂质控制等均有非常高要求。对於混合气而言，配比的精度是核心参数，随着产品组分的增加、配制精度的上升，常要求气体供应商能够对多种 ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）级浓度的气体组分进行精细操作，其配制过程的难度与复杂程度也显着增大。

2.1.2、电子特气下游认证周期较长，行业准入难度较大

电子特气下游认证周期较长，准入难度较大。电子特气下游企业主要为集成电路、显示面板等行业的大型厂商，其对电子特气的产品质量与供应稳定性等方面的要求非常严格，通常采用认证采购的方式。在进入下游客户供应链体系过程中，电子特气企业需要经过审厂、产品认证等多轮严格的审核认证，且由於必须对产品的稳定度进行验证，认证周期也相对较长。其中，光伏领域客户认证时间约 0.5-1 年，显示面板领域约为 1-2 年，集成电路领域客户最长的认证时间甚至需要 3 年。与此同时，为了保障原料的供应及质量稳定性，下游大型厂商在确定电子特气供应商以後，一般不会轻易更换供应商。整体来看，由於电子特气下游客户粘性较强，对於新进入者而言，这进一步提高了行业准入门槛。

2.1.3、电子特气生产涉及资质壁垒，监管政策严格

由於气体具有易燃易爆、易致窒息等特点，国内政府将工业气体作为危险化学品纳入监管，因此工业气体的生产、充装、储存、运输、经营等方面都具有严格的规定。近年来国家环保部、安全生产监管总局、工信部等多个国家部门对危化企业的生产经营、危化品的道路运输监管日益趋严，要求相关企业严格执行包括《环境保护法》、《危险化学品安全生产「十二五」规划》等法律条例，已在全国范围内督促多家危化企业整改、搬迁或关停。此外，行业内企业在新的区域开展工业气体业务需要向安全生产监督管理、质量技术监督管理、食品药品监督管理等政府部门申请相应的许可证书，从而形成较高的资质壁垒。

2.2、电子特气呈海外寡头垄断格局，国产化率仍有较大提升空间

全球电子特气呈现海外寡头垄断格局，2020 年国产化率不足 15%。根据观研天下数据，2021 年全球电子特气市场份额中，空气化工、林德集团、液化空气与太阳日酸占比分别达到 25%、25%、23%、18%，合计占比超过 90%。国内方面，由於国内电子特气产业起步较晚，在技术上与国外企业具有一定差距，当前仍以进口为主，截至 2020 年国产化率不足 15%。以集成电路领域为例，根据中国工业气体工业协会数据，现阶段集成电路所用的电子特气中，我国仅能生产约 20%的品种，其余品种均依赖进口。

海外电子特气生产企业业务多元，客户布局遍布全球。海外电子特气产业历史悠久，主要生产企业的创立最早可以追溯至 20 世纪初前後。同时从业务与客户布局来看，海外企业多为综合性工业气体供应商，产品涵盖普通的大宗气体与各类特种气体，下游客户布局遍布全球。以林德集团为例，2021 年林德集团销售收入 308 亿美元，同比增长 13%。按终端应用领域划分，化学与能源、医疗健康、制造业、金属与开采、食品饮料、电子产品领域贡献分别占比 21%、19%、19%、13%、10%、8%。按地区划分，美洲地区、 EMEA（欧洲、中东与非洲）、APAC（亚太地区）收入占比分别达到 39%、19%、19%。

国内电子特气产业起步较晚，已在部分细分领域成功实现国产替代。相较於海外气体公司，国内电子特气产业起步较晚，相关生产企业由於技术实力较弱，产品品种相对单一、整体产品结构偏中低端。但是经过多年的技术研发与客户积累，当前各生产企业已经在某些细分产品领域成功实现进口替代并且规模化供应。

2.3、支持政策相继出台，促进国内电子特气产业发蓬勃发展

电子特气作为关键性电子材料，如今却面临国产化率较低、供给受制於人的问题，这对国内集成电路等高端产业的供应链安全性与稳定性带来了较大的挑战。在此背景下，近年来国家各部委相继出台一系列产业支持政策，积极推动电子特气产业的蓬勃发展。

3、需求：需求驱动成长，未来前景可期

3.1、电子特气主要用於集成电路、显示面板等领域，市场规模持续增长

电子特气需求主要来源於集成电路、显示面板等领域。根据中船特气招股说明书，全球电子特气消费结构中，集成电路、显示面板、光伏与 LED 分别占比 71%、 18%、3%、8%。相较於全球，国内电子特气下游应用中，显示面板领域占比较高，达到 37%，此外集成电路、光伏、LED 也分别占比 42%、13%、8%。

全球及国内电子特气市场规模持续增长。伴随集成电路及显示面板等下游应用领域的稳步发展，电子特气作为其生产过程中的重要耗材之一，其市场规模也在持续增长。根据 TECHCET 数据，2017-2021 年间全球电子特气市场规模由 36.91 亿美元增长至 45.38 亿美元，CAGR 达到 5.30%，同时预计到 2025 年达到 60.23 亿美元， 2022-2025 年 CAGR 达到 6.39%。国内方面，根据观研天下数据，2016-2021 年间国内电子特气市场规模由 98 亿元逐步提升至 167 亿元，CAGR 达到 11.25%，同时预计到 2024 年达到 230 亿元，2022-2024 年 CAGR 达到 10.31%。

电子特气种类众多，单一产品市场规模相对较小。根据 Linx Consulting 数据， 2021 年全球电子特种气体市场规模为 44.23 亿美元（此处与上文 TECHCET 的数据略有不同，或因统计口径问题），其中三氟化氮（NF3）、六氟化钨（WF6）等全球市场规模排名前十的电子特气合计达到 25.37 亿美元，占市场总规模的 58%。

3.2、三大应用领域齐头并进，下游需求加速释放

3.2.1、集成电路：半导体行业周期底部将至，AI 需求或将贡献重要增量

电子特气为晶圆制造过程中的第二大耗材，占比达到 13%，仅次於矽片。在集成电路领域，电子特气主要应用於前端晶圆制造中的清洗、沉积、氧化成膜、光刻、刻蚀、掺杂等诸多工艺流程，几乎渗透到生产过程中的每一个环节，对产品的性能、成品率、集成度等方面均具有重要影响。根据观研天下数据，电子特气在集成电路领域中刻蚀用气占比 36%，掺杂用气占比 34%，外延沉积、光刻及其他用气合计占比 30%。同时根据 SEMI 数据，在晶圆制造材料中，矽片成本占比最大，达到 35%，此外电子特气作为第二大耗材，占比也达到 13%，仅次於矽片。

具体来看，电子特气在集成电路领域主要应用於沉积、光刻、刻蚀、掺杂、退火、反应室清洁等六大工艺，同时在不同工艺中，使用的气体种类也有所区别：（1）沉积：沉积是制造导体、半导体和绝缘体等电子器件内部材料的生产工艺。通常，将两种或多种气相反应物导入反应室内，此时衬底也被加热至有利於进行反应所需的高温，这样就可以直接在衬底表面发生化学反应来生成薄膜产品，以此满足某些特定的性能。（2）光刻：光刻是指通过匀胶、曝光、显影等一系列步骤将晶圆表面薄膜特定部分除去的工艺。光刻的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特徵图形，并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件的关联正确。常用於图像光刻的光源是以气相激光为基础，采用少量的氟气、氯气、氯化氢、氩气以及混合大量氖气为平衡气的氙气。

（3）刻蚀：刻蚀是指采用化学或物理方法，有选择性地从矽片表面去除多余材料的工艺，且通常在光刻之後来永久固定光刻工艺中形成的图样和形状。从分类来看，刻蚀包括湿法刻蚀和干法刻蚀。其中，湿法刻蚀为化学反应过程，其利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而达到刻蚀目的。干法刻蚀则是利用气态中产生的等离子体，通过经光刻而开出的掩蔽层窗口，与暴露於等离子体中的矽片进行物理或化学反应，以此刻蚀掉矽片上暴露的表面材料。（4）掺杂：掺杂是指将某些杂质掺入本徵半导体材料内，旨在改善半导材料的导电率。要加入掺杂原子，可通过气体在表面发生反应，并渗入经过加热处理的衬底中，或通过等离子体激活方法。

（5）退火：退火是指将半导体材料在一定的温度下加热一段时间，然後缓慢冷却的过程。退火过程中，半导体材料的晶格结构发生改变、缺陷被修复、杂质被扩散，从而改善了半导体材料的电学性能和结构性能。通常，氧气或氢气在高压和高温条件下用於已有材料层发生反应，以在表面上形成新的氧化或氢化层。在其他应用中，会对具有更多薄膜层的衬底进行加热和冷却处理，这样最顶层薄膜就能够形成结晶相。（6）反应室清洁：反应室清洁是保持反应腔处於工作状态的一个重要工艺。过多的化学反应物和产物不仅会沉积在衬底上，而且还会沉积在反应腔腔壁以及反应腔内其他设备之上。而卤化物气体可通过等离子体激活，与多余材料发生反应，从而去除多余材料。

半导体行业周期底部将至，中长期成长性仍值得期待。2022Q2 以来，受终端需求疲软及库存调整等因素影响，半导体行业景气度持续下滑。根据 IDC 数据，2023 年全球半导体行业市场规模预计将同比下降 5.3%。但是分季度来看，IDC 预计 2023H1 或是半导体行业景气低点，2023H2 开始半导体行业景气度有望逐季改善。同时，从中长期来看，IDC 预计 2021-2025 年全球半导体行业市场规模将由 5840 亿美元提升至 7260 亿美元，CAGR 达到 4.5%。

AI 产业快速发展，或贡献重要增量。从产业链来看，AI 产业链主要分为三层：基础层、技术层与应用层。其中，基础层为 AI 产业的基础，为其提供数据及算力支撑，主要包括研发硬体及软体，如感测器、AI 晶元、数据资源、云计算平台等。技术层是人工智慧产业的核心，强调关键技术的研究，包括深度学习框架、演算法模型开发等。应用层是 AI 产业的延伸，负责实体产业应用，提供行业解决方案服务、硬件产品和软体产品。未来伴随 AI 产业的不断发展，相应的算力晶元、存储晶元等芯片需求有望快速增长，这或将为电子特气需求贡献重要增量。

3.2.2、显示面板：出货面积提升与产品结构升级共振，助力电子特气需求增长

显示面板所用的电子特气以三氟化氮与硅烷为主，二者分别占比 50%、24%。根据林德集团数据，显示面板使用的电子气体包括电子特种气体与电子大宗气体。其中，电子特气包括三氟化氮、硅烷、六氟化硫、氨气以及磷化氢混合物，合计占显示面板制造所用气体的 52%，而电子大宗气体则主要包括氮气、氢气、氦气、氧气、二氧化碳以及氩气，合计占显示面板制造所用气体的 48%。

从技术来看，平板显示的主流技术包括 TFT-LCD 与 AMOLED。按照发光方式的不同，平板显示技术可以分为自发光与非自发光，其中自发光又可以分为 OLED 与等离子技术，而非自发光则主要为液晶显示技术（LCD）。目前 TFT-LCD 面板依靠其工作电压低、功耗小、解析度高、抗干扰性好、应用范围广等诸多优点，成为显示面板产业的主流产品，广泛应於笔记本电脑、桌面显示器、电视、移动通信设备等领域。同时，伴随生产工艺的不断进步以及生产成本的逐步下降，AMOLED 技术也开始在手机、可穿戴设备等小尺寸领域逐步推广。

相较於 TFT-LCD，生产 AMOLED 使用的电子气体种类更多、用量更大，主要原因在於：

薄膜晶体管（TFT）是 TFT-LCD 与 AMOLED 的重要部件。在 LCD 领域， TFT 可以调节每个子像素（红绿蓝）的电压，以调整液晶分子的扭曲程度，从而控制子像素的亮度。AMOLED 全称为「主动矩阵有机发光二极体」，屏幕上的每一个像素既能完成显示色彩的功能，还具有自发光的特性，同时每个像素点也均由 TFT 来控制。在生产中，制作 TFT 基板的过程和制造晶元的过程非常相似，区别在於一个在矽片上制造，一个在玻璃上制造。

进一步来看，薄膜晶体管（TFT）的制造材料主要分为非晶硅（a-Si）、低温多晶硅（LTPS）和金属氧化物（MO）。根据林德集团数据，相较於 a-Si 晶体管显示屏，生产 LTPS 单位玻璃面积气体消耗量将增加 25%、生产 MO 增加约 50%。一般而言，在 TFT-LCD 领域，a-Si 晶体管多用於低解析度显示屏和电视机，高解析度显示屏则采用 LTPS 晶体管（但由於成本较高、可扩展性受限，一般用於中小型显示屏）。而在 AMOLED 领域，LTPS 与 MO 晶体管为主流方向，其中 MO 晶体管适合大尺寸 OLED、LTPS 晶体管适合小尺寸 OLED。

出货面积提升与产品结构升级共振，助力电子特气需求增长。根据 Omdia 数据， 2021 年全球显示面板出货面积合计 2.6 亿平方米，预计 2028 年将达到 3.18 亿平方米， 2021-2028 年 CAGR 达到 2.92%。同时，分类型来看，2021 年 AMOLED 面板出货面积约 1421 万平方米，占比 5%，预计 2028 年将达到 2878 万平方米，占比提升至 9%， 2021-2028 年 CAGR 达到 10.61%。展望未来，伴随显示面板出货面积的逐步提升以及 AMOLED 渗透率的持续提高，电子特气需求有望继续维持稳步增长。

光伏新增装机规模持续扩张，有望进一步拉动电子特气需求。根据 CPIA 与国家能源局数据，2022 年全球及国内光伏新增装机规模分别达到 230GW、87.4GW，分别同比增长 35.3%、59.3%。同时 CPIA 预计，2023 年全球光伏新增装机量将达到 280-330GW，其中国内光伏新增装机量将达到 95-120GW。未来伴随上游原材料硅料价格的逐步下降，光伏终端需求有望加速释放，上游电子特气或将随之充分受益。

4、重点公司分析

4.1、中船特气：电子特气行业龙头，正式登陆资本市场

主营业务方面：公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售，主要产品包括高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯四氟化硅、高纯氘气、高纯六氟丁二烯、高纯八氟环丁烷、高纯电子混合气等电子特种气体，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、双（三氟甲磺醯）亚胺锂等含氟新材料。其中，电子特气是半导体制造不可或缺的关键原材料之一，广泛应用於集成电路、显示面板等领域，三氟甲磺酸系列产品具有对环境友好、催化作用强等特点，广泛应用於锂电新能源、医药、化工等行业。目前公司已经具备电子特种气体及含氟新材料等 50 余种产品的生产能力，成为行业内产业规模大、客户覆盖广、创新能力强且具备参与全球竞争能力的头部企业。

客户方面：公司电子特气产品的客户以集成电路和显示面板行业为主，以医药、锂电新能源、光纤等行业为辅。在集成电路领域，公司已实现对中芯国际、长江存储、上海华虹、长鑫存储等境内主要晶圆制造企业的全覆盖，并已进入台积电、联华电子、海力士、铠侠、格罗方德、德州仪器等全球领先的晶圆制造企业供应链。在显示面板领域，公司已成为京东方、TCL 科技、天马微电子、咸阳彩虹、维信诺、群创光电、LGD、SDP 等国内外企业的重要供应商。

财务方面：2019 年至 2022 年间，伴随下游需求的持续释放以及公司产品产能的不断扩张，公司业绩稳步增长。其中，营业收入由 10.37 亿元提升至 19.56 亿元，归母净利润由1.96亿元提升至3.83亿元，二者年均复合增速分别达到23.56%、25.02%。

分行业来看，2022H1 集成电路与显示面板行业营收占比分别达到 54%、33%。根据 Wind 数据，2022H1 集成电路与显示面板（OLED&LCD）行业为公司主要营收来源，二者分别贡献营收 5.13 亿元、3.13 亿元，分别占公司总营收的 54%、33%。

分产品来看，2022H1 公司电子特气产品营收与毛利占比分别达到 90%、89%。根据 Wind 数据，2022H1 公司实现营收 9.55 亿元、毛利 3.91 亿元，其中电子特气产品贡献营收 8.58 亿元、毛利 3.49 亿元，分别占公司总营收与总毛利的 90%、89%。

4.2、华特气体：特气行业领跑者，2022 年业绩高速增长

主营业务方面：公司的主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务。其中，公司生产销售的特种气体主要包括高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、光刻气等约 230 余种，普通气体 10 余种，气体设备与工程则主要包括低温绝热气瓶等产品及配套的供气系统设计、安装服务。公司产品广泛应用於集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、航天航空、高端装备制造、食品、冶金、化工、机械制造等众多行业。

客户方面：经过多年技术研发与积累，公司成为国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气等产品进口制约的气体公司，并实现了近 20 个产品的进口替代。与此同时，随着纯度、精度和稳定度持续提高以及市场开拓的深入，公司产品获得了下游相关产业一线知名客户的广泛认可，并实现了对国内 8 寸以上集成电路制造厂商超过 80%的客户覆盖率，解决了中芯国际、华虹宏力、长江存储、武汉新芯、华润微电子、台积电（中国）、和舰科技、士兰微电子、柔宇科技、京东方等客户多种气体材料制约，并进入了英特尔（Intel）、美光科技（Micron）、德州仪器（TI）、海力士（Hynix）等全球领先的半导体企业供应链体系。其中，根据公司公告，公司的拳头产品光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、 F2/Ar/Ne）成功通过 ASML 和 GIGAPHOTON 的认证，是国内唯一通过两家认证的气体公司。

财务方面：2014 年至 2017 年间，公司业绩整体维持稳定。截至 2017 年，公司当年实现营业收入 7.87 亿元，归母净利润 0.49 亿元。2018 年起，公司业绩开始呈现快速增长态势，2018-2022 年间，公司营收由 8.18 亿元提升至 18.03 亿元，归母净利润由 0.68 亿元提升至 2.06 亿元，年均复合增速分别达到 21.85%、31.93%。其中， 2022 年受益於半导体需求增长带来的产品销量增加以及产品结构优化带来的毛利率提升，公司当年营收与归母净利润分别同比增长 33.84%、59.48%。

分产品来看，2022 年公司电子特气营收与毛利占比分别达到 73%、84%。根据 Wind 数据，2022 年公司合计实现营收 18.03 亿元、毛利 4.85 亿元，其中电子特气产品贡献营收 13.22 亿元、毛利 4.08 亿元，分别占公司总营收与总毛利的 73%、84%。

4.3、金宏气体：气体综合供应商，电子特气与电子大宗气体齐头并进

主营业务方面：公司为专业从事气体的研发、生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型气体综合供应商。目前公司已建立品类丰富、布局合理、配送可靠的气体供应和服务网路，能够为电子半导体、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造等行业客户提供特种气体、大宗气体和天然气三大类 100 余种气体产品。公司主要产品包括：（1）超纯氨、氢气、氧化亚氮、乾冰、硅烷、氦气、混合气、医用气体、氟碳气体等特种气体；（2）氧气、氮气、氩气、二氧化碳、乙炔等大宗气体；（3）天然气。

客户方面：（1）LED、光伏与光纤光缆：公司已经对国内 LED 晶元行业上市公司实现全覆盖，对国内前十五大光伏企业的覆盖率超过 50%，与亨通光电、住友电工、富通集团等全球光纤光缆十强企业建立了良好的合作关系。（2）液晶面板及集成电路：目前公司已经开始向国内主要的液晶面板生产商京东方、三星电子、TCL 华星、中电熊猫、天马微电子、龙腾光电，以及知名集成电路厂商联芯集成、华润微电子、华力微电子、矽品科技、华天科技、深南电路、晶方科技等供货或提供服务。此外，公司致力於电子半导体领域的特种气体国产化，已逐步实现了超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯、高纯二氧化碳等一系列产品的进口替代。公司自主研发的超纯氨、高纯氧化亚氮等产品已正式供应中芯国际、海力士、镁光、联芯集成、积塔等一批知名半导体客户。

财务方面：营收端，公司营收规模持续扩张，2012 年至 2022 年间营业收入由 3.51 亿元提升至 19.67 亿元，年均复合增速达到 18.81%。利润端，公司归母净利润整体呈上升趋势，其中 2016 年受超纯氨产品毛利率下降、销售费用大幅增长等因素影响，公司归母净利润同比下滑 76.73%至 0.12 亿元；2022 年，公司继续加大市场开发力度并且原材料价格回落、产品毛利率有所提升，当年实现归母净利润 2.29 亿元，同比增长 37.14%。

分产品来看，2022 年公司特种气体产品营收与毛利占比分别达到 38%、44%。根据 Wind 数据，2022 年公司实现营收 19.67 亿元、毛利 7.08 亿元，其中大宗气体、工业气体与清洁煤气产品的营收占比分别达到 40%、38%、11%，贡献毛利占比分别达到 39%、44%、5%。

分行业来看，2022 年半导体行业营收与毛利贡献占比分别达到 19%、24%。营收方面，2022 年半导体行业实现营收 3.81 亿元，占公司总营收的 19%，同时新材料、机械制造、高端装备制造、医疗及食品、环保新能源领域的营收占比也分别达到 17%、 16%、12%、7%、6%。此外，在毛利方面，2022 年半导体行业贡献毛利 1.68 亿元，占公司总毛利的 24%，为公司毛利的主要来源。

具体到半导体细分领域，公司对半导体领域客户销售的产品主要包括超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、高纯二氧化碳、硅烷混合气、八氟环丁烷、高纯氩、高纯氮等电子特种气体，以及电子半导体领域生产中所用到的氮气、氧气、氩气、二氧化碳等电子大宗气体。根据公司招股说明书数据，截至 2019 年，公司在半导体领域实现营收 3.27 亿元，占公司主营业务收入的 31.18%，其中电子特气与电子大宗气体分别贡献营收 2.52 亿元、0.75 亿元，分别占公司半导体领域营收的 77%、23%。进一步来看，在电子特气方面，光伏、光纤通信、LED、液晶面板与集成电路行业分别贡献营收 0.62 亿元、0.36 亿元、0.71 亿元、0.40 亿元、0.44 亿元，合计 2.52 亿元，占公司电子特气收入的 64.54%。

4.4、昊华科技：央企材料平台，老牌电子特气供应商

主营业务方面：公司主要业务为高端氟材料、电子化学品和航空化工材料的研发、生产与销售，同时在工程技术服务与创新等领域也有较大发展。其中，目前公司电子化学品产业主要集中在子公司昊华气体，其业务涵盖电子特气（蚀刻清洗气、离子注入/掺杂气、化学气相沉积/原子层沉积气、高纯混配气等）、电子大宗气体（超纯氮/氧/氢/氩/氦等）、电子产业含氟精细化学品、工业气体及标准气、工程服务及供气技术、分析检验服务等，核心产品包括三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、磷烷、砷烷、三氟化硼、绿色四氧化二氮、高纯硒化氢、高纯硫化氢、高纯氦气、VOCs 标气、标准混合气体等。

客户方面：公司电子特气产品已进入中芯国际、长鑫存储、华虹宏力、华润上华、镁光、德州仪器、吉林华微电子等十余家半导体生产企业。同时公司为京东方特气领域最大供应商，供应的产品对对集团旗下 15 座工厂几乎实现全覆盖。财务方面：作为平台型企业，公司依托强大的技术研发能力，不断开拓新业务与新产品，驱动公司不断成长。截至 2022 年，公司当年实现营业收入 90.68 亿元，同比增长 22.13%，实现归母净利润 11.65 亿元，同比增长 30.67%。

分产品来看，2022 年电子气体、聚氨酯及化学推进剂业务营收与毛利占比分别为 8%、9%。根据 Wind 数据，2022 年公司营收与毛利结构中，化工材料产品为最大的收入与毛利来源，分别占比 36%、52%；此外，电子气体、聚氨酯及化学推进剂业务合计贡献营收 7.06 亿元、毛利 1.92 亿元，分别占公司总营收与总毛利的 8%、 9%。

4.5、凯美特气：食品级二氧化碳龙头，积极进军电子特气领域

主营业务方面：公司是以石油化工尾气（废气）、火炬气为原料，研发、生产多种气体产品的专业环保企业。公司主要产品包括高纯食品级液体二氧化碳、乾冰、氩气、氮气、氢气、氧气、戊烷、液化气及可燃气等其它气体，其中：公司高纯食品级液体二氧化碳现有产能为 56 万吨/年，为国内食品级二氧化碳龙头企业。

公司积极进军电子特气领域。在巩固二氧化碳气体行业龙头地位的基础上，2018 年起公司积极进军电子特气领域。2020 年 7 月，公司岳阳电子特种稀有气体项目正式投产，已生产出的合格产品包括：99.99996%二氧化碳、99.9999%氦气、99.999% 氖气、99.9999%氩气、99.999%氪气、99.9995%氙气、99.997%一氧化碳、99.9999% 氮气、99.9999%氢气、氯化氢基准分子激光混配气、氟基准分子激光混配气、动态激光混配气。此後，公司陆续投资建设郴州宜章凯美特特种气体项目等，持续加码电子特气产业。

客户方面：目前公司食品级液体二氧化碳产品已通过可口可乐和百事可乐的认证，被可口可乐和百事可乐等公司确认为在中国的策略供应商，并为杭州娃哈哈集团、屈臣氏集团、百威英博啤酒集团、青岛啤酒、华润雪花啤酒、燕京啤酒、珠江啤酒集团、中烟集团等众多知名食品饮料、烟草客户和中国中车集团、三一重工、中联重科、山河智能、岳阳林纸等特大型工业客户广泛采用。在电子特气领域，2023 年 2 月，公司收到 ASML 子公司 Cymer 公司发来的合格供应商认证函，公司光刻气产品成功通过 Cymer 公司审查，被列入合格供应商名单。

财务方面：2013 年至 2021 年间，公司整体业绩稳中有升，其中 2015 年受液体气及戊烷价格大幅下降、长岭凯美特全年停车带来资产减值损失等因素的影响，公司实现营收 1.52 亿元，同比下降 42.04%，实现归母净利润-0.46 亿元，同比下降 244.68%；2021 年，受益於液化气与戊烷产品价格大幅上涨、二氧化碳产品产销量有所提升等因素，公司实现营收 6.68 亿元，同比增长 28.68%，实现归母净利润 1.39 亿元，同比增长 92.34%。2022 年公司业绩继续维持高速增长，全年实现营收 8.52 亿元，同比增长 27.66%，实现归母净利润 1.66 亿元，同比增长 19.25%。

分产品来看，2022 年公司特种气体营收与毛利占比分别达到 30.3%、39.4%。根据 Wind 数据，2022 年公司合计实现营收 8.52 亿元、毛利 3.40 亿元，其中特种气体产品贡献营收 2.58 亿元、毛利 1.34 亿元，分别占公司总营收与总毛利的 30.3%、 39.4%。

4.6、和远气体：潜江与宜昌两大基地齐头并进，持续加码电子特气业务

主营业务方面：公司专注於气体产品的生产和销售，产品大致分为三类：（1）普通气体，包括氧、氮、氩、二氧化碳、乙炔、丙烷等；（2）特种气体，包括氦气、氢气等；（3）清洁能源，包括液态天然气等。公司积极布局电子特气业务。公司利用多年来在气体分离、提纯、合成等方面积累的技术与经验，以宜昌化工园、潜江化工园的氟、硅、碳、氢、氯等资源为基础原材料，打造电子特气、电子化学品、功能性新材料、气凝胶、前驱体、同位素等全产业链循环体系，建设电子特气与功能性材料产业园，不断加快向产业链下游半导体等高端产业领域延伸拓展的步伐：

（1）潜江基地：2020 年 4 月，公司公告投资 2.8 亿元，在湖北省潜江化工园兴建电子特气产业园，建设年产 8 万吨电子级超纯氨、32000 万方电子级高纯氢气（最大产能）项目。2021 年 9 月，公司公告将电子特气产业园项目投资预算增加至 3.91 亿元，同时将该项目产品产能调整为：纯氨，生产能力年产 20 万吨，其中包含电子级高纯氨年产 2 万吨；电子级高纯氢气最大生产能力保持 32000 万方/年不变（纯氨和高纯氢气在设计上可相互转换）。後 2021 年 10 月，公司公告投资 3.7 亿元，新增电子特气及电子化学品项目。该项目采用合成、分离、提纯等技术，一方面将合成氨生产的变压吸附提氢的解析气进行分离、提纯，对其中的一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氢气等组分加以利用，制取高纯一氧化碳、高纯二氧化碳、高纯甲烷等电子级化学品；另一方面，利用现有氨-碳-氢-氯-硅-硫等资源，建设高纯羰基硫、高纯氯气、高纯氯化氢、高纯盐酸、高纯氨水等电子级化学品生产装置，以及食品级二氧化碳生产装置。

（2）宜昌基地：2022 年 3 月，公司与宜昌高新技术产业开发区管理委员会签订《关於建设宜昌电子特气及功能性材料产业园项目的合作协议书》，投资建设电子特气及功能性材料产业园项目。该项目总投资约 50 亿元，分两期建设，其中一期项目投资 20 亿元，建设周期 24 个月，二期项目投资 30 亿元，建设周期 24 个月。

客户方面：公司产品多元化，客户数量众多，整体客户结构层次稳定，与大量下游行业的代表性企业保持长期稳定供应关系，涉及行业广泛，积累了一批优质客户，多次被客户评为优秀供应商，其中包括兴发集团、武船重工、菲利华、台基半导体、中国石化、格力电器、美的电器、海尔电器、TCL、东风汽车、百事、统一、红牛、伊利、加多宝、蒙牛、汇源、银鹭等数千家客户。

财务方面：公司营收与利润规模持续扩张，2015 年至 2021 年间营业收入由 3.04 亿元提升至 9.92 亿元、归母净利润由 0.20 亿元提升至 0.90 亿元，年均复合增速分别达到 21.79%、28.49%。2022 年公司营收规模继续扩张，全年实现营收 13.22 亿元，同比增长 33.25%，但受产品毛利率下降、政府补助减少等因素影响，全年实现归母净利润 0.75 亿元，同比下降 16.69%。